1.真空的定義
真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。
2、真空度
處于真空狀態下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度單位
通常用托(Torr)為單位,近年國際上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
4、托與帕的轉換
1托=133.32帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、流量
單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
6、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩定狀態下,管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差,符號記作“U”。U=Q/(P2- P1)
7、壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
8、標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓,符號:(Atm)。
9、極限真空
真空容器經充分抽氣后,穩定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣,再經12小時抽真空,最后一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
10、抽氣速率
在一定的壓強和溫度下,單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)